| Pura高純氣在線(xiàn)露點(diǎn)傳感器、在線(xiàn)露點(diǎn)儀在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對(duì)于過(guò)程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來(lái)，對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來(lái)在線(xiàn)測(cè)量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。 Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的*適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。 亮點(diǎn)
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技術(shù)指標(biāo) | ||||||||||||||||||
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| 電源 | 通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大電流 25 mA | |||||||||||||||||
| 輸出 | 4-20 mA 輸出, 對(duì)應(yīng)范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供) zui大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8) | |||||||||||||||||
| 輸出出錯(cuò)狀態(tài) | 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 | |||||||||||||||||
| 機(jī)械性能 | ||||||||||||||||||
| 傳感器套筒 | 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光 | |||||||||||||||||
| 氣路連接端口 | Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 | |||||||||||||||||
| 安裝配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長(zhǎng), 氣路端口的端面密封. 無(wú)需預(yù)留管路空隙 底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對(duì)面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶(hù)提供的 ½" VCR 端口中 | |||||||||||||||||
| 尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm | |||||||||||||||||
| 重量 | Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g | |||||||||||||||||
| 包裝 | Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作 | |||||||||||||||||
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